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多级脉冲电源

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3 天内发货
所在地区:
天津
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2025-04-12
最后更新:
2024-11-21 18:12
浏览次数:
12

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产品详情
工作频率:
13.56MHz
上升沿:
<20ms
冷却方式:
水冷

该射频电源采用3U半机箱设计,整机功率密度高

支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式

可自定义配置脉冲信号,响应速度快,信号质量高

快速的信号响应时间,以及脉冲上升/下降时间

支持高速、高精度的调频功能,扫频范围宽。内设多种保护机制,稳定性高



应用特征

该电源主要应用对象包括:刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。

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