40KHz中频电源（替换AE PEII）
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移动式离子源控制系统
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- 2025-04-12
- 最后更新：
- 2024-11-21 18:12
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产品特点
完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
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