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企业信息
多级脉冲电源
该射频电源采用3U半机箱设计，整机功率密度高支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高快速的信号响应时间，以及脉冲上升/下降时间支持高速、高精度的调频功能,扫频范围宽。内设多种保护机制，稳定性高应用特征该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子
最后更新：2024-11-21
大功率电源
产品性能：大功率电源是新一代射频电源发生器，单台输出功率可达30KW。产品广泛应用于LCD、光伏等行业。典型应用包括溅射、PECVD和表面处理产品特征：采用先进的功率发生器，输出功率高，稳定可靠；搭配12寸工业触控屏，方便控制于显示；自主研发的高功率电源匹配器，能实现快速匹配；具备电弧抑制功能，可以有效抑制负载产
最后更新：2024-11-21
移动式离子源控制系统
产品特点完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
最后更新：2024-11-21
远程等离子体源
是一种用于产生等离子体的装置，通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺，以及半导体刻蚀和薄膜设备的预处理反应和清洗等。与传统等离子体源不同的是，RPS通常不直接接触要处理的表面，而是在一定距离之外产生等离子体，并将等离子体输送到目标表面，因此被称为“远程等离子体源”。应用特征采用新
最后更新：2024-11-21
